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导体工艺在0 .25um 以下 的亚微米布线的需要但却带米了其他的问题:铜与 有机介质材料的附着强度低.并且容易发生反应,废铟锭回收体系,导 致在使用过程中芯片的铜互连线被腐蚀而断路。为了解决以上这些问题,废铟锭回收出售,需要在铜与介质层之间设置阻挡 层。阻挡层材料一般采用高熔点、高电阻率的金属及其化合物,因此要求阻挡层厚度小于50n m,与铜及介质材料的附着性能良好。铟靶材厂家,铟靶材价格,废铟锭回收销售,铟靶材回收,铟靶材哪家好


杂质含量

靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如,废铟锭回收,半导体工业用的纯铝及铝合金靶材,对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。

密度

为了减少靶材固体中的气孔,提高溅射薄膜的性能,通常要求靶材具有较高的密度。ITO靶灰回收厂家,ITO靶灰回收价格,ITO靶灰回收利用


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