检测标准：
1.气流速度及其均匀度检测，这项检测是无尘室效果的其他各项检测的前提，这项检测的目的是为了明确单向流无尘室工作区的平均气流通度及其均匀性。2.系统或房间的风量检测。3.室内洁净度的检测。洁净度的检测是为了确定洁净环境可达到的空气洁净度级别，可采用粒子计数器检测。4.自净时间的检测。通过确定自净时间，查明洁净室内部发生污染时恢复其原有洁净度的能力。5.气流流型检测。
湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，无尘车间分级，如果发生在精密装置或 电路中，无尘车间，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，无尘车间厂，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高，粘附的难去掉，无尘车间，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿
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