等离子体技术行业应用
等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场，常压等离子表面处理机，用真空泵实现一定的真空度，随着气体愈来愈稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长，受电场作用，它们发生碰撞而形成等离子体，这些离子的活性很高，其能量足以破坏几乎所有的化学键，在任何暴露的表面引起化学反应，不同气体的等离子体具有不同的化学性能，如氧气的等离子体具有很高的氧化性，能氧化光刻胶反应生成气体，等离子处理设备，从而达到清洗的效果；腐蚀性气体的等离子体具有很好的各向异性，这样就能满足刻蚀的需要。利用等离子处理时会发出辉光，故称之为辉光放电处理。
低温等离子处理过程是否会产生污染
低温等离子表面处理是一种“洁净'的处理工艺，处理过程中只有少量臭氧O3因为电离空气而产生，等离子液晶，但对一些材料处理过程中会分解出少量氮氧化物，应该配备排风系统。
低温等离子处理需要特殊气体吗
在线处理过程中除了压缩空气，等离子，不需要其他特殊气体。但如果是次大气压下的辉光放电设备，可以充入氩气、氦气等惰性气体，在不同于空气的气氛条件下进行表面处理。
