(2)不供油 如果是不供油，则要检查油泵是否在正常工作，晶圆清洗，打开回油管，清洗，查看回油管内是否有正常的油回出，如果有油回出则可判定是供油电磁阀没有工作。解决方法是用万用表量一下电磁阀是否损坏(一般为24Ω左右)，如果电磁阀损坏则更换电磁阀；如没有损坏，就需要检查它是否接收到电压信号；如没有电压信号，则可判定为电路故障，清洗腐蚀台，这时要从温控到压力开关、流量阀、油位开关逐一检查，晶片清洗台，哪里不通即可判定故障所在位置，修复即可解决。如无正常回油则可判定是油泵损坏，更换或修复即可
苏州晶淼半导体设备有限公司
是一家从事湿法制程设备研发、生产、销售、售后服务于一体的高新技术企业。历来秉承高起点、高目标、高要求、高品质的企业宗旨，致力于为半导体LED行业、光伏太阳能行业、LCD液晶行业以下行业提供蚀刻、清洗、显影、去膜、制绒、减薄等高品质设备，
清洗设备是指可用于替代人工来清洁工件表面油、蜡、尘、氧化层等污渍与污迹的机械设备。目前市面上所见到清洗设备为：超声波清洗、高压喷淋清洗、激光清洗、蒸汽清洗、干冰清洗及复合型清洗设备等；
另外，对承压缸体的自增强处理工艺很关键，我们一般是以两倍工作压力使其内壁产生压缩预应力，产生径向扩大的残余变形。这样，在工作承压后，应力分布比较均匀，全部应力维持在弹性范围内，弹性承载能力增大，提高缸体疲劳寿命，设计原则是选择材料和工艺给出适合自增强压力和最*佳自增强度
清洗设备是指可用于替代人工来清洁工件表面油、蜡、尘、氧化层等污渍与污迹的机械设备。目前市面上所见到清洗设备为：超声波清洗、高压喷淋清洗、激光清洗、蒸汽清洗、干冰清洗及复合型清洗设备等；
