洁净厂房的平面布置应合理安排洁净生产区、辅助区和动力区，并应符合下列要求 1、洁净室（区）人员净化、物料净化和各种辅助永房，应合理分区布置。2、生产工艺或生产设备有特殊要求时，宜分隔为单独的房间。3、生产过程中排放腐蚀性气体的生产设备或生产工序应分类、集中布置或与其他生产房间分隔。
4、发热量、发尘量大的生产工序或生产设备，宜与空气洁净度要求严格的房间分隔布置。5、洁净室（区）的辅助设备、维修间等技术支持区，宜集中布置在洁净室（区）的相邻房间，电子无尘车间，技术支持区的空气洁净度等级应低于洁净室（区）的等级。6、若需在洁净室（区）内设置洁净电梯时，应采用气闸间、洁净送风措施。7、应符合有关防爆、防火、消防等要求。
在集中或净化空调系统中，对风管的要求是既经济又能有效地送风。前者要求体现在价格低廉，电子无尘车间，方便施工，运行成本，内表面光滑阻力小。后者是指严密性好，不漏气，不发尘，不积尘，不污染，可耐火、耐腐蚀、耐潮湿。
在运行中，有时候管件的局部阻力大大高于风管的沿程阻力，电子无尘车间施工，这种状况需要改善。管件主要有弯头、变径管三通及四通管。弯管的中心曲率半径应大于矩形风管的边长，圆形则采用1.25倍直径。大断面风管应在管内加导流片，以减少阻力。而在实际安装施工中，较少如此处理。对于变径管，不可突然变径，宜作成渐扩（缩）管，渐扩管每边扩展角应大于15°，电子无尘车间工程，渐缩管则每边收缩角不大于30°。矩形风管的三通要顺气流弯管弯曲分流，支管也应有一定的曲率半径。若要90°角分流，则应在弯头内加导流片。
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