空气等离子表面处理机产品应用产业
.STN-LCD、TFT-LCD、OLED或PDP之COG或OLB制程前的ITO电极表面清洁
.COF (ILB) 或COB制程的电极表面清洁
.LCD或OLED的玻璃清洁
.IC封装(Flip Chip, CSP, BGA, TCP, or Lead Frame, etc.)或LED封装的表面清洁或改质
.PCB的表面清洁、活化、改质或去残胶
.晶圆的表面清洁或去光阻
.工业电子组件之表面清洁、活化或改质
.印刷或粘着前之表面粗化或清洁
.镀膜、去光阻及蚀刻
等离子的物理反应
主要是利用等离子体里的离子作纯物理的撞击,柔性板清洗,把材料表面的原子或附着材料表面的原子打掉,由于离子在压力较低时的平均自由基较轻长,有得能量的累积,清洗,因而在物理撞击时,离子的能量越高,越是有的作撞击,所以若要以物理反应为主时,低温清洗,就必须控制较的压力下来进行反应,这样清洗效果较好,为了进一步说明各种设备清洗的效果,我们作了各种对比试验。
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