硅片物理清洗
物理清洗有三种方法。①刷洗或擦洗:可除去颗粒污染和大多数粘在片子上的薄膜。②高压清洗：是用液体喷射片子表面，喷嘴的压力高达几百个大气压。高压清洗靠喷射作用，片子不易产生划痕和损伤。但高压喷射会产生静电作用，靠调节喷嘴到片子的距离、角度或加入防静电剂加以避免。③超声波清洗：超声波声能传入溶液，靠气蚀作用洗掉片子上的污染。但是，从有图形的片子上除去小于 1微米颗粒则比较困难。将频率提高到超高频频段，清洗效果更好。
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垃圾分类及回收的几点小知识
纸类
木材是纸纤维的主要来源。每制造1公吨纸张（约相当於5000份报纸）须消耗20棵高度8公尺、树径16公分的原木，硅片回收，每棵树要长到如此，平均约需20年到40年的时间。砍伐原始森林可能造成生态环境难以回复的破坏，因此，造纸的木材最.好取自管理完善的商业森林，才能确保森林资源的永续利用和维持生态平衡。造1公斤的纸约需用2.7公斤的木材、130克的石灰、85克的硫、40克的氯和300公升的水，而用氯漂白是造纸过程中，水污染的主要来源。因此，减少使用纸张，使用再生纸，尽量使用未漂白的纸，都会对环境有所助益。
废纸一般分为牛皮纸箱、报纸、白纸、混合纸四大类。回收的废纸交给古物商或资源回收车後，会被送到大盘的废纸商处分类打包，然後送到纸厂经过打浆、脱墨、抄纸、乾燥後，太阳能硅片回收，做成再生纸。台湾的各种纸制品中，大部份都有再生纸的成份。使用废纸来造纸比用原木纸浆可减少75％的空气污染、35％的水污染、60％的用水40％的能源消耗，并可减少大量的废弃物。
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