三坐标测量机的发展历经半个多世纪。它的出现是工业化发展的历史必然。一方面是由于自动机床、数控机床等高效率加工的发展以及越来越多复杂形状零件加工需要有快速可靠的测量设备与之配套；另一方面是由于电子技术、计算机技术、数控技术以及精密加工技术的发展为其提供了技术基础。坐标测量机的出现使得测量仪器从手动方式向现代化自动测量的转变成为可能。
螺旋测微器分为机械式千分尺和电子千分尺两类。①机械式千分尺。如标准外一种电子千分尺(螺旋测微器)径千分尺.简称千分尺，是利用精密螺纹副原理测长的手携式通用长度测量工具。1848年，法国的J.L.帕尔默取得外径千分尺的专利 。1869年，美国的J.R.布朗和L.夏普等将外径千分尺制成商品，用于测量金属线外径和板材厚度。千分尺的品种很多。改变千分尺测量面形状和尺架等就可以制成不同用途的千分尺，绍兴三丰仪器，如用于测量内径、螺纹中径、齿轮公法线或深度等的千分尺。②电子千分尺 如数显外径千分尺。也叫数显千分尺，测量系统中应用了光栅测长技术和集成电路等。电子千分尺是20世纪70年代中期出现的，三丰仪器，用于外径测量。
内径千分尺测量时支承位置要正确。接长后的大尺寸内径尺重力变形，涉及到直线度、平行度、垂直度等形位误差。其刚度的大小，具体可反映在“自然挠度”上。理论和实验结果表明由工件截面形状所决定的刚度对支承后的重力变形影响很大。如不同截面形状的内径尺其长度 L 虽相同，泰州三丰仪器，当支承在（2/9）L 处时，都能使内径尺的实测值误差符合要求。但支承点稍有不同，其直线度变化值就较大。所以在国家标准中将支承位置移到大支承距离位置时的直线度变化值称为“自然挠度”。为保证刚性， 嘉兴三丰仪器，在我国国家标准中规定了内径尺的支承点要在（2/9）L 处和在离端面 200 mm 处，即测量时变化量小。并将内径尺每转 90°检 测一次，其示值误差均不应超过要求。
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