在工艺管道的配置方面：
对于冷冻冷却管、自来水管、压缩空气管中所需配置的材料及配件外，均按标准选购，工艺设备所选用的不锈钢管，采用双面抛光“316”卫生薄管，确保表面无裂纹、缩孔、夹渣、起瘤、折迭、重皮、锈斑和麻点缺陷，各种材料、型号和配件均附出厂合格证。对各种安装好的管路均进行试压测验，严防泄漏，确保各项技术标准达到有关规范要求。
对施工质量的要求方面：
洁净室中的温湿度控制
洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，无尘车间工程，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，无尘车间报价，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间温度不宜超过25度，湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，无尘车间，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，无尘车间哪家好，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以清除。相对湿度越高，粘附的越难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产最.佳湿度范围为35—45%。
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