层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率100-%之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用，一般其洁净室等级为Class 1~100。其型式可分为二种：
(1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，无菌洁净室，一般在下流侧污染较严重。
优点：构造简单，运转后短时间内即可变成稳定。
缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。
(2)垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，洁净室，可得较高之洁净度，重庆洁净室，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。
缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。
洁净室的清洁程序
(1)、更换好专用防静电服，戴好、口罩，经风浴吸尘通道除尘后，百级洁净室，进入洁净室。
(2)、准备好清洁工具及用品并放置在规定地点后，开始清洁工作。
(3)、捡拾地面垃圾，按生产线排列次序由里向外逐一进行。
(4)、按时倾倒清运垃圾桶、垃圾箱内垃圾，并进行检查，按规定严格分类后，经生产线管理员或保安检查后运送到指定的垃圾房内分类放置。
(5)、由上向下使用洁净纸或无尘布清洁室内玻璃、墙面、货架、
(6)、使用洁净尘推由里向外小心进行地面推尘、保洁。地面有垃圾、污迹、水迹等及时用无尘布清洁干净。
(7)、利用生产线员工休息就餐时间对生产线、工作台下、坐椅下地面进行清理。
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