层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率100-%之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用，一般其洁净室等级为Class 1~100。其型式可分为二种：
(1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，重庆洁净室，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，无锡洁净室，一般在下流侧污染较严重。
优点：构造简单，洁净室，运转后短时间内即可变成稳定。
缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。
(2)垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，北京洁净室，不易为作业状态或作业人员所影响。
缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。
洁净车间测试
无尘车间测试需要满足哪些条件：
1.洁净室内的空气是从洁净区向洁净程度差的区域流动，受污染空气的流动达到最*低程度，空气在门口处和室内建筑中的流动方向正确。
2.洁净室的送风量充足，足以稀释或消除室内产生的污染。
3.室内空气的运动状态可保证密室内没有高浓度聚集区域。
4.洁净车间的送风不会显著增加室内的污染。
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