对于各种净化设备方面的需求也需要做到以下几点：
1.工艺设备的设计和排热措施应密切结合，排热以发展水冷为主。
2.对各种净化单元结构(布置和尺寸)应加以改进，使之向有利于减小体积，提高分配均匀性，无尘车间 级别，而又不增加阻力的方向发展。
3.在不影响噪声限度的前提下，提高风机压头有利于延长过滤器的使用寿命，此外风机应能够变速运行。
4.无隔板过滤器和新型空气分配装置可构成即节能又灵活的无尘车间系统。
5.改进排风柜的构造，既便于随时调节风量，又要方便操作。
伴随着我国经济高速发展，无尘车间净化，无尘车间净化行业的企业也如雨后春笋一般迅速的成长起来，无尘车间，正因为无尘车间净化工程就是环保行业，所以更加相信该行业是一个未来行业发展的趋势。
温湿度
洁净室的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，无尘车间厂，对产品将有污染，特别 是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。
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