洁净空调的水系统通常包括两部分：敞开式的冷却水循环水系统，密闭式的冷冻水循环水系统。敞开式的冷却水循环水系统，由于水中会溶解氧和细菌、自来水中溶解的许多盐类、冷却水为敞开式的，无尘室建设价格，和空气完全接触，生成生物粘泥，生物粘泥会堵塞管道及滤网等设备。综上所述，电化学腐蚀、结垢、生物粘泥是冷却水进行水处理的三大原因。
对于密闭的冷冻水循环系统而言，主要的原因就是水中溶解的氧和细菌产生的腐蚀，无尘室建设，及生物粘泥堵塞管道及滤网，则会降低水流量，导致换热效率的降低。冷凝器上的污垢每增加0.1毫米，散热效率降低5-10%，机组耗电量增加8-15%。
由于风管内的灰尘经过中效过滤器的过滤已清除90%的灰尘，无尘室建设哪家好， 如定期更换中效则风管的污染程度要比一般的空调风管好得多， 因此风管系统的内部彻底清洁并不是绝.对必须的，
为减少灰尘的来源， 上下技术夹层内所有表面彻底清洁是必要的， 也建议在开工前或停工期间， 以免工作期间引起震动影响无尘室尘量。 对千级以上的洁净室，无尘室建设厂家， FFU内部也应彻底定期清洗。
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