张家港晋宇达电子科技有限公司
光刻机对准系统另外一个技术难题就是对准显微镜。为了增强显微镜的视场，许多高端的光刻机，采用了LED照明。对准系统共有两套，具备调焦功能。主要就是由双目双视场对准显微镜主体、目镜和物镜各1对（光刻机通常会提供不同放大倍率的目镜和物镜供用户组合使用）。
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光刻机样片调平机构包括球座和半球。调平过程中首先对球座和半球通上压力空气，半导体前道设备，再通过调焦手轮，使球座、半球、样片向上运动，使样片与掩模相靠而找平样片，然后对二位三通电磁阀将球座和半球切换为真空进行锁紧而保持调平状态。样片调焦机构由调焦手轮、杠杆机构和上升直线导轨等组成，调平上升过程初步调焦，调平完成锁紧球气浮后，样片和掩模之间会产生一定的间隙，深圳半导体前道设备，因此必须进行微调焦。另一方面，北京半导体前道设备，调平完成进行对准，必须分离一定的对准间隙，也需要进行微调焦。
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