洁净室测试步骤:
各区之间的气流控制:
(1)各区间的压差正确;
(2)门口处或墙、地板等处的开口处气流运动方向正确,即从洁净区向洁净程度差的区域流动。
2.送风量与排风量:如果是紊流洁净室,龙岩洁净室,那么就要测量其送风量与排风量。若为单向流洁净室,则要测量其风速。
3.隔离检漏:这项测试是为了证明悬浮污染物不穿过建筑材料侵入洁净室。
从过去到现在
传统方式安装一个洁净室地板系统,是在一种叫做“开孔华夫板(open waffle slab)”的上面铺设。这种华夫板是混凝土矩阵结构,南平洁净室,带有开孔,便于维修和空气流通。洁净室地板系统就组装在这个矩阵结构之上,洁净室,支架设在华夫板的开孔之间,厦门洁净室,支撑洁净室地板系统。支架通常是2×2英尺,装配2×2英尺的地板或通路地板块。洁净室对气流的要求已经发生改变。因为制造空间采用了微环境,净化的空气过滤器数量减少了。由于产品是放在前开式标准片盒(FOUP)里或一个晶圆传送系统里,把材料传送到每个微环境中去,在那里进行加工处理。
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