ITO靶材主要质量指标 化学成分In2O3 SnO2=9010(wt%) 纯度≥99.99% 相对密度~99% 密度均匀性偏差≤±0.3% 相结构单一立方In2O3相 失氧率＜＝3% 单片较大尺寸250mm x 200mm ，厚度可按用户要求任意。
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