超声波清洗机的日常保护与保养
1、维持清洗机的任务场合的通风、枯燥、干净，有利于装备的临时高效运转及优化任务环境条件；
2、洗净液过于龌龊时应及时处理，硅片腐蚀，活期清算清洗槽、贮液槽内污垢，维持洗净槽内及外观的干净，可进步洗净槽的耐用性；
3、电气掌握箱及装备通风口远离水蒸汽、侵蚀性气体、粉尘，活期用收缩空气清算附着的灰尘；
4、活期测试装备的绝缘性能，超声波清洗机关于易老化电气组件活期检讨，硅片清洗机，检讨接地线，确保装备良好接地此名目须由具备专业经历的电工进行，硅片，；
5、活期测试电源，确认契合装备的电源电压请求，避开在过高或过低的不稳固电源下临时任务；
6、带有过滤安装的装备，活期改换过滤芯；清洗机同时供给专业的滤芯超声波清洗机。
7、带有传动机构的，应按请求活期加注黄油、机油等光滑剂，活期改换加速机齿轮油，确保静止机件在良好光滑条件下任务；
半导体器件技术飞速地扩展进入主流硅逻辑和模拟应用以外的领域。在显示技术、太阳电池板技术和一些其它大面积光电系统中，其表面需要加工的材料可能包括玻璃、ITO（铟锡氧化物）或柔性塑料衬底等等。
RCA清洗法 ：
最初，人们使用的清洗方法没有可依据的标准和系统化。1965年， RCA（美国无线电公司）研发了用于硅晶圆清洗的RCA清洗法，并将其应用于 RCA元件制作上。该清洗法成为以后多种前后道清洗工艺流程的基础，以后大多数工厂中使用的清洗工艺基本是基于最初的RCA清洗法。
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