因此，激光混合气装，对激光混合气组分的纯度有着特殊要求，包装混合气的钢瓶，充装前也必须进行干燥处理，防止污染混合气。如果将氦(He)-氖(Ne)激光作为首代气体激光，二氧化碳激光是第二代气体激光，在半导体制造领域将大量使用的氟化氪(KrF)激光，可称为第三代激光。
典型示例:激光混合气
激光混合气
组分与浓度范围
H2
CO
CO2
N2
He
0.3%
3%
6.5%
13%
77.2%
采用40升钢瓶，充装压力10MPa
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一切以气体或蒸气作为激光工作物质的激光器，统称为气体激光器。这是目前种类最多、发展最快、应用最广的一类激光器。通常可以把气体激光器划分为原于气体激光器、离子气体激光器、分子激光器和准分子激光器。
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