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等离子体技术行业应用

等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场,用真空泵实现一定的真空度,随着气体愈来愈稀薄,分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长,受电场作用,它们发生碰撞而形成等离子体,这些离子的活性很高,山西等离子清洗,其能量足以破坏几乎所有的化学键,在任何暴露的表面引起化学反应,不同气体的等离子体具有不同的化学性能,如氧气的等离子体具有很高的氧化性,能氧化光刻胶反应生成气体,从而达到清洗的效果;腐蚀性气体的等离子体具有很好的各向异性,这样就能满足刻蚀的需要。利用等离子处理时会发出辉光,故称之为辉光放电处理。



等离子的物理反应

主要是利用等离子体里的离子作纯物理的撞击,把材料表面的原子或附着材料表面的原子打掉,由于离子在压力较低时的平均自由基较轻长,上海等离子清洗,有得能量的累积,因而在物理撞击时,等离子清洗,离子的能量越高,越是有的作撞击,所以若要以物理反应为主时,河北等离子清洗,就必须控制较的压力下来进行反应,这样清洗效果较好,为了进一步说明各种设备清洗的效果,我们作了各种对比试验。


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