RCA清洗法：依靠溶剂、酸、表面活性剂和水，湿法腐蚀机，在不破坏晶圆表面特征的情况下通过喷射、净化、氧化、蚀刻和溶解晶片表面污染物、有机物及金属离子污染。在每次使用化学品后都要在超纯水（UPW）中彻底清洗。以下是常用清洗液及作用。
清洗的设备仪器
主要以湿法清洗为主，太仓湿法腐蚀机设备，以下是与湿法清洗相关的设备仪器。有机溶剂清洗机：循环去离子(DI)水，对蓝宝石进行冲洗；形成局部通风区域，对清洗过程产生的有毒腐蚀性气体进行及时排除。
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