热等离子体
热等离子体应用热等离子体的温度为0.1～4电子伏，电流为1～100安及以上。这类等离子体处于热平衡态，电弧、等离子体炬属于这一类。主要用于难熔金属冶炼、机加工等。
热等离子体发生装置 可采用直流、交流或射频电源。图1为几种不同装置示意。图1a中，pcb清洗，同轴旋转的气流吹入气室，在水冷的正极（+）和负极（-）之间形成电弧。温度为8000～30000开，功率为20～75千瓦，热效率为55～85%。由于电极的烧蚀，FOG端子清洗，这种装置的运行时间不长，约 100小时。
等离子体的应用取决于它的性质和状态。等离子体的性质常取决于以下因素：①等离子体的组分，如原子、分子、离子、电子、化学基团等。②粒子所处的状态，如中性态、激发态、电离态、活化的分子及自由基。③各种粒子数密度，即单位体积中的粒子数。④各种粒子的温度。如果电子和离子的温度相等，清洗，称为平衡态等离子体；反之，是非平衡态等离子体。⑤等离子体所处的环境，如电场强度、磁场强度、电极结构、气流、放电容器等。⑥各种因素的作用时间。
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