等离子体技术行业应用
等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场，等离子，用真空泵实现一定的真空度，等离子清洗机，随着气体愈来愈稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长，受电场作用，它们发生碰撞而形成等离子体，在线等离子处理设备，这些离子的活性很高，其能量足以破坏几乎所有的化学键，在线等离子表面处理机，在任何暴露的表面引起化学反应，不同气体的等离子体具有不同的化学性能，如氧气的等离子体具有很高的氧化性，能氧化光刻胶反应生成气体，从而达到清洗的效果；腐蚀性气体的等离子体具有很好的各向异性，这样就能满足刻蚀的需要。利用等离子处理时会发出辉光，故称之为辉光放电处理。
空气等离子表面处理机型号：GTP100-A
产品特点
．多项专利设计
．清洁效能优异、处理速度快
．多种喷头选择，清洁范围 5~200mm
．可使用气体：CDA(Air)
．不需暖机，可随时启动及停止
．可in-line或off-line操作
．操作成本低
．无污染
．无静电残留
．无arc
．体积小，容易安装及维护
．可依据客户需求作修改。
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