卧轴矩台平面磨床：工件由矩形电磁工作台吸住或夹持在工作台上，磨床，并作纵向往复运动。砂轮架可沿滑座的燕尾导轨（见机床导轨）作横向间歇进给运动，滑座可沿立柱的导轨作垂直间歇进给运动，用砂轮周边磨削工件，磨削精度较高。
立轴圆台平面磨床:竖直安置的砂轮主轴以砂轮端面磨削工件，砂轮架可沿立柱的导轨作间歇的垂直进给运动。工件装在旋转的圆工作台上可连续磨削，生产效率较高。为了便于装卸工件，圆工作台还能沿床身导轨纵向移动。
精密平面磨床的技术要点
新材料运用超精密平面磨削对机床的热变形及振动控制要求较高，在机床基础结构件材料的运用上，应突破传统以灰铸铁为主的原则，昆山高精密平面磨床，采用新材料，如：非金属材料—树脂混凝土，该材料的振动衰减性、耐热梯度、线胀系数等特性均大大优于金属材料。因而在超精密平面磨削机床的主要关键基础件，如床身、立柱、拖板等应采用人造大理石材料。
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