三坐标检测的方法，基于不同的计算机测量软件。但所有软件对于测量要素的定义应该是一致的。根据工件的检测要求有所不同。1、工件的表面处理。有些工件在装夹前要进行表面处理，除去影响测量精度的因素。三坐标检测计算机界面 2、装夹。起到好的固定作用。参见：三坐标测量机夹具3、建立坐标系。4、编程（简单检测或非批量检测，可忽略）5、检测。
螺旋测微器也叫千分尺，是一种精密量具。千分尺也称螺旋测微器。一个这样的测量工具是由法国发明家Jean Laurent Palmer 在1848 年获得了专利，被称为“带圆游标尺框的螺纹卡尺”。今天，我们仍然利用这一典型特征制造外径千分尺。千分尺引入机械世界开始于两个美国工程师Joseph R. Brown 和Lucian Sharpe 在1867 年对巴黎展览会的访问，他们的注意力被Palmer 的发明所吸引，并非常感兴趣。在对Palmer 的设计加以改进之后产品被大批量制造，并由这两位合伙人在市场上成功地推广。当瑞士TESA公司决定制造外径千分尺时，他们重复了过去发生的故事，使该产品成为公司的一个产品。个别情况除外（例如测量齿轮的千分尺），我们所使用的千分尺遵循Abbe 原则（阿贝原则），非标检具批发，如同比较仪那样。千分尺心轴通过现代化磨床加工，非标检具制造，螺纹的轮廓精度很高，螺距偏差可忽略不计，加工条件保证了千分尺极低的测量不确定度。
1. 大平面侧头千分尺其测量面直径比较大(12.5mm)，非标检具，并可以更换，故测量面与被测工件间的压强较小。适用于测量弹性材料或软金属制件，如金属po箔片、橡胶和纸张等的厚度尺寸。
2. 大尺寸千分尺 其特点是可跟换测砧或可调整测杠，这对减少千分尺数量、扩大千分尺的使用范围是有好处的。
3. 翻字式读数外径千分尺 在微分筒上开有小窗口，显示0.1mm读数
4. 电子数字显示式外径千分尺 是指利用电子测量、数字显示及螺旋副原理对尺架上两测量面间分隔的距离进行读数的外径千分尺。
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