净化工程——洁净室中的温湿度控制
洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。
具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，净化工程，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。
什么是净化工程
净化工程是指将一定空气范围内空气中的微粒子，山东净化工程，有害空气，细菌等污染物排除，并将室内的温度，空气净化工程，洁净度，室内压力，气流速度于气流分布，噪音震动及照明，医疗净化 工程，静电控制在某一需求范围内，这样的一个过程叫净化工程。 净化工程分类：净化工程主要有：净化车间、无尘室、无尘车间、洁净室、净化间、无菌室、医院手术室、净化装修工程；从事生产风淋室、传递窗、自动洗手烘干机、风机滤网机组FFU、超净工作台、洁净棚不锈钢桌椅、货架等，洁净技术通常包括：空气净化技术、空调技术、水纯化技术、气体纯化技术.。
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