从过去到现在
传统方式安装一个洁净室地板系统，是在一种叫做“开孔华夫板（open waffle slab）”的上面铺设。这种华夫板是混凝土矩阵结构，莆田洁净室，带有开孔，洁净室，便于维修和空气流通。洁净室地板系统就组装在这个矩阵结构之上，支架设在华夫板的开孔之间，支撑洁净室地板系统。支架通常是2×2英尺，装配2×2英尺的地板或通路地板块。洁净室对气流的要求已经发生改变。因为制造空间采用了微环境，净化的空气过滤器数量减少了。由于产品是放在前开式标准片盒（FOUP）里或一个晶圆传送系统里，把材料传送到每个微环境中去，泉州洁净室，在那里进行加工处理。
洁净厂房位置的选择，应根据下列要求并经技术经济方案比较后确定:
1 应在大气含尘和有害气体浓度较低、自然环境较好的区域。
2 应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害气体的工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰的区域。如不能远离严重空气污染源时，则应位于最-大频率风向上风侧，或全年最-小频率风向下风侧。
3 应布置在厂区内环境清洁、人-流、物流不穿越或少穿越的地段。
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