超声波清洗机的日常保护与保养
1、维持清洗机的任务场合的通风、枯燥、干净，有利于装备的临时高效运转及优化任务环境条件；
2、洗净液过于龌龊时应及时处理，活期清算清洗槽、贮液槽内污垢，维持洗净槽内及外观的干净，可进步洗净槽的耐用性；
3、电气掌握箱及装备通风口远离水蒸汽、侵蚀性气体、粉尘，活期用收缩空气清算附着的灰尘；
4、活期测试装备的绝缘性能，超声波清洗机关于易老化电气组件活期检讨，检讨接地线，确保装备良好接地此名目须由具备专业经历的电工进行，；
5、活期测试电源，确认契合装备的电源电压请求，避开在过高或过低的不稳固电源下临时任务；
6、带有过滤安装的装备，活期改换过滤芯；清洗机同时供给专业的滤芯超声波清洗机。
7、带有传动机构的，SPM清洗机，应按请求活期加注黄油、机油等光滑剂，RCA清洗台，活期改换加速机齿轮油，RCA清洗设备，确保静止机件在良好光滑条件下任务；
清洗的设备仪器
主要以湿法清洗为主，以下是与湿法清洗相关的设备仪器。有机溶剂清洗机：循环去离子(DI)水，清洗，对蓝宝石进行冲洗；形成局部通风区域，对清洗过程产生的有毒腐蚀性气体进行及时排除。
表面清洗正成为此类半导体加工中不断出现的问题。这是因为衬底晶体的低劣质量（而不是其表面洁净度）不再是限定与那些材料有关的制造良率的主导因素。随着各种半导体材料衬底单晶质量的提高，考虑因素就会变化，会对清洗技术给予更加密切的关注。
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