因此，对激光混合气组分的纯度有着特殊要求，包装混合气的钢瓶，充装前也必须进行干燥处理，防止污染混合气。如果将氦(He)-氖(Ne)激光作为首代气体激光，激光混合气，二氧化碳激光是第二代气体激光，在半导体制造领域将大量使用的氟化氪(KrF)激光，激光混合气化学性质，可称为第三代激光。
典型示例:激光混合气
激光混合气
组分与浓度范围
H2
CO
CO2
N2
He
0.3%
3%
6.5%
13%
77.2%
采用40升钢瓶，充装压力10MPa
气体激光器的激励方式很多，通常采用气体放电激励，此外还可采用电子束激励、气动式激励、化学激励、光激励和核动激励等。气体激光器与液体激光器、固体激光器和半导体激光器一样，泰兴激光混合气，已经实现了实用化。它已广泛用于工农业生产、科学研究、国防建设和医疗卫生等领域。气体激光器的重要特点之一，激光工作物质是混合气或单一纯气体。由于激光混合气中组分气的纯度直接影响激光的性能，激光混合气装，特别是气体中氧、水、碳氢化合物等杂质的存在，将导致激光输出功率在镜(面)和电极上的耗损，还会引起激光发射的不稳定。
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