1、基于新原理的加工方法努力开发加工单位极小的精密加工方法，必须在加工机理的本身就使其误差分散在1nm以下的水平。目前加工单位比较小的加工方法主要有弹性破坏加工、化学加工、离子束加工、电子束加工、等离子体加工等。目前的金刚石切削和金刚石砂轮精密磨削从其加工机理上看，其加工单位就很大。
2、开发精密的机械机构不论是加工装置还是测量装置，都需要 精密的机械机构，无锡 三坐标测量仪，包括导轨、进给机构及轴承等，超精密空气静压导轨是目前好的导轨，其直线度可达(0.1~0.2)μm/250mm，通过补偿技术还可以进一步提高直线度，苏州三坐标测量仪，但是它没有液体静压导轨的刚性大。同时，由于空气静压导轨的气膜厚度只有10μm左右，三坐标测量仪进口，所以在使用过程中，要注意防尘。另外，三坐标测量仪，在导轨的设计中，还可以用多根导轨并联来均化气膜的误差。用高弹性合金、红宝石制造的滚动导轨，系统误差在0.5μm左右，随机误差可能超过0.1μm。
·千分尺·千分尺又叫螺旋测微器，是一种精密量具，是比游标卡尺更精密的测量长度的工具。·操作方法：1）测试前用软布将测量面擦干净，旋转测微螺杆使之与小砧并拢，查看主尺（固定刻度）和副尺(可动刻度）的零刻度线是否对齐。若未对其，应根据原始误差修正测量读数。2）测量工件时，右手拿住尺身，左手拿待测物体，使待测物体位于测微螺杆和小砧之间，旋转粗调旋钮，待测微螺杆靠近被测表面时改用细调旋钮，当测杆和被测物相接后的压力达到某一数值时，棘轮将滑动并有咔咔的响声，此时停止转动旋钮，并锁紧紧固螺钉。3）读数：在主尺（固定刻度）上读取毫米整数（注意0.5毫米的短线是否露出），在副尺(可动刻度）上读取与主尺横线对齐的格数n，在第三标尺上读取与副尺刻度对齐的千分位数值。
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