层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率100-%之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用，一般其洁净室等级为Class 1~100。其型式可分为二种：
(1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。
优点：构造简单，洁净室，运转后短时间内即可变成稳定。
缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。
(2)垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。
缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。
单向流（10—100级）洁净室
10—100级的洁净室，均采用单向流的气流组织送风方式，即洁净室内的气流在同一截面的任一点，求购洁净室，气流方向和速度均保持一致，洁净室销售，这样可以使洁净室气流像“活塞”一样，将室内的尘埃粒子以最快的速度带走。要实现“活塞”的效果，高效过滤器需要满足屋顶才可以实现单向流的气流组织方向。
非单向流（1000—30万级）洁净室
1000—30万级洁净室的气流组织方向和100级以上的洁净室不同，深圳洁净室，室内的气流是以不均匀的速度呈不平行流动，伴有回流或涡流，它主要靠洁净的气流不断稀释室内空气，将室内的污染逐渐排出，来实现室内空气的净化。不同净化等级，主要是依靠单位时间内所送风量的不同来表现的。
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