洁净度100级 cleanliness class 100
洁净室里大于等于0.5μm的尘粒数大于350粒/m3(0.35粒/L)到小于等于3500粒/m3(3.5粒/L);大于等于5μm的尘粒数为0。周期中建立模范标准的决心。
洁净度1000级 cleanliness class 1000
洁净室里大于等于0.5μm的尘粒数大于3500粒/m3(3.5粒/L)到小于等于35000粒/m3(35粒/L);大于等于5μm的尘粒数小于等于300粒/m3(0.3粒/L)。
洁净室内的工作桌等障碍物，在相接处均会有涡流现象发生，洁净室，相对地在其附近之洁净度将会较差，在工作桌面钻上回风孔，洁净室销售，将使涡流现象减少最-低;组装材料之选择是否恰当、设备布局是否完善，洁净室价格，亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。
影响洁净室的气流因素很多，如制程设备、人员、洁净室组装材、照明器具等，同时对于生产设备上方气流的分流点，亦应列入考虑因素。
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