尽管洁净室仍然需要过滤空气，但过滤器的数量逐渐从完全覆盖率降低到到35%覆盖率。结果，流过整个空间和经过架空地板的空气流量减少，穿孔地板的数量减少了，从而在洁净室里更多地使用实心地板。
传统的地板系统的接地方法在工业中没有多大改变。通常的方法是夹在支架上，然后连在一起接到建筑物的接地系统里。防静电地板已经被广泛应用，武汉洁净室，它利用特殊的具有耐化学腐蚀性的乙烯基材料，而且含有碳元素，具有必要的导电率。地板块的下方，每个支架顶端，放置一个乙烯基/铁丝网接地垫。这保证系统中电流正确贯穿所有构件。
如果达到洁净室洁净度之稳定效果，均一气流之保持亦为一重要因素，万级洁净室，均一气流若无法保持，表示风速有异，特别是在壁面，昆山洁净室，气流会延着壁面发生涡流作用，此时要实现高洁净度事实上很困难。
垂直层流式方向要保持均一气流必须：(a)吹出面的风速不可有速度上的差异;(b)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s，0.7m/s)均有涡流之现象发生，洁净室，而0.5m/s之速度，气流则较均一，目前一般洁净室，其风速均取在0.25~0.5m/s之间。
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