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阻挡层材料一般采用高熔点、高电阻率的金属及其化合物,废铟回收,因此要求阻挡层厚度小于50n m,与铜及介质材料的附着性能良好。铜互连和铝互连的阻挡层 材料是不同的.需要研制新的靶材材料。铜互连的阻 挡层用靶材包括 T a 、W、T a S i 、WS i 等 .但是T a 、W 都是难熔金属.制作相对困难,如今正在研究钼、铬 等的台金作为替代材料。铟靶材厂家,铟靶材价格,铟靶材回收,铟靶材哪家好


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