动态洁净室:
处于正常使用的洁净室,昆山洁净室,服务功能完善,万级洁净室,有设备和人员;如果需要,可从事正常的工作。
洁净工作棚:
为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,采用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间,其等级为10~1000级,高度在2.5米左右,洁净室,覆盖面积约10m2以下,四支支柱并加装活动轮,洁净室等级,可为弹性运用。
洁净工作台:
等级Class 1~100级。
洁净室:
每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
空态洁净室:
已经建造完成并可以投入使用的洁净室(设施)。它具备所有有关的服务和功能。但是,在设施内没有操作人员,也没有操作的设备。
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