与传统测量仪器是将被测量和机械基准进行比较测量不同的是，坐标测量机的测量实际上是基于空间点坐标的采集和计算。虽然现代的测量机比早期的功能要高级很多，但基本原理是相同的，即建一个刚性的结构，此结构有三个互相垂直的轴，每个轴向安装光栅尺，日本三丰苏州，并分别定义为X、Y、Z轴。为了让每个轴能够移动，每个轴向装有空气轴承或机械轴承。在垂直轴上的探测系统记录测量点任一时刻的位置。探测系统一般是由测头和接触式探针构成，探针与被测工件的表面轻微接触，日本三丰量仪，获得测量点的坐标。在测量过程中，坐标测量机将工件的各种几何元素的测量转化为这些几何元素上点的坐标位置，再由软件根据相应几何形状的数学模型计算出这些几何元素的尺寸、形状、相对位置等参数。
使用三坐标测量仪过程中存在误差，经统计，大致有以下5个方面的误差来源：
1.人为误差：在三坐标测量仪使用过程中肯定是需要人为的控制的，可是人不可避免会有一些的操作误差，日本三丰，特别是在使用手动型三坐标测量机时，日本三丰工具，因为测量过程需要人工的手动移动，难免会有些误差。而且这个误差与操作人员的熟练程度有很大的影响。
2.操作误差：使用测量仪器过程中，因安装、调节、布置、使用方法不对而导致的误差。
3.方法误差：由于对三坐标的测量理论掌握不熟练，导致一些测量方法用的不正确也可能造成误差。
4.三坐标本身误差：由于三坐标测量仪本身及其附件所引入，出于仪器的电气或机械性能不完善所产生的误差。高瑞三坐标提示比如：电桥中的标准电阻，示波器的探极线等都含有误差。仪器，仪表的零位偏移，刻度不准确，以及非线性等引起的误差均属于仪器误差。
5.坏境误差：由湿度、温度、气压、声音、震动、光、放射性等影响所造成的误差。
1. 大平面侧头千分尺其测量面直径比较大(12.5mm)，并可以更换，故测量面与被测工件间的压强较小。适用于测量弹性材料或软金属制件，如金属po箔片、橡胶和纸张等的厚度尺寸。
2. 大尺寸千分尺 其特点是可跟换测砧或可调整测杠，这对减少千分尺数量、扩大千分尺的使用范围是有好处的。
3. 翻字式读数外径千分尺 在微分筒上开有小窗口，显示0.1mm读数
4. 电子数字显示式外径千分尺 是指利用电子测量、数字显示及螺旋副原理对尺架上两测量面间分隔的距离进行读数的外径千分尺。
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