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、开发高精度的测试系统在目前的超精密加工领域中,三坐标测量机,对加工 精度的测量主要有两种方法;激光检测和光栅检测,而光栅的应用最为广泛。目前光栅的测量精度可达nm级,如北京光电仪研究中心的光栅系统可达0.1μm,无锡三坐标测量机,俄罗斯的全息光栅系统达10nm,LG100光栅系统的分辨率可达0.1μm,测量范围为100mm。 开发系统误差小、精度高和可靠性高的检测仪器和控制装置的前提是开发高性能的传感器以及伺服从动机构。如果开发出高性能的传感器以及伺服机构及高精度、高速度、和高可靠性的读出装置,昆山三坐标测量机,就可通过使用计算机进行检测、分析及计算,以提高检测精度。


电动轮廓仪按传感器的工作原理分为电感式、感应式以及压电式多种。仪器由传感器、驱动箱、电器箱等三个基本部件组成。

运用相比传统一维点激光测量,新型的激光轮廓仪可以快速测量整个剖面,而不是几个有限的测量点,能更全面的反映车轮、轨道表面轮廓情况,尤其适合精度及速度要求都很高的在线测量系统。采用新技术的系统已经逐渐成为国内外在线轮廓测量的主流趋势。


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