洁净室控管项目
1、能除去空气中飘游之微尘粒子。
2、能防止微尘粒子之产生。
3、温度和湿度之控制。
4、压力之调节。
5、 有害气体之排除。
6、结构物与隔间之气密性。
7、静电之防制。
8、电磁干扰预防。
9、安全因素之考虑。
10、节能之考量。
静态洁净室:各种功能完备、设定安装妥当,洁净室,可以按照设定使用或正在使用的洁净室(设施),常熟洁净室,但是设施内没有操作人员。
分类:
乱流式(Turbulent Flow)层流式(Laminar)复合式(Mixed Type)气流的重要性风速的控制影响因素
空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。
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