洁净室:
每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。
空态洁净室：
已经建造完成并可以投入使用的洁净室(设施)。它具备所有有关的服务和功能。但是，在设施内没有操作人员，百级洁净室，也没有操作的设备。
洁净室的地板系统除了需要给在这个区域工作的人们提供稳定的立足点外，还要提供更多东西，例如把洁净的空气送入房间，支撑加工艺设备，为必要的设备维修提供方便的通道，制药洁净室，并且还要具备坚固的表面保证设备可以在上面进行改造。洁净室的地板也提供了电力系统的接地，洁净室，起到传导和静电耗散的作用，消除ESD积累。
由于所有这些原因，洁净室的地板成为整个洁净室中最重要的组成部分。然而，很多设备经理或工具安装人员，在使用洁净室时都会碰到地板带来的麻烦。举个例子，人们要进入地板下面的空间时，就会认识到——由于公差过于精密——需要很大的力量才能打开地板块；然后，在把地板块放回原处的时候，通常地板块无法完全复原，不得不用脚用力在上面跺。而且，在使用工具翻开地板块的时候，经常会损坏它们。
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