复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。
(1)洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域1-00%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。
此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。
(2)洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为最适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。
(3)并装局部洁净室(Clean Spot)：将洁净室等级10，000~100，000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
洁净室工作服除了不能成为散发尘源以外，还兼有防止人体散发尘埃的效果，洁净室，同时作为衣服，百级洁净室，在材料和设计上应具备安全保护性、舒适性、作业方便性、审美性等基本性能，无锡洁净室，否则由于工服的式样、布料及内衣的不同，直接影响到洁净市内的尘埃和菌落数。 洁净室工作服的种类工作服质地应光滑、武静电、不脱落纤维和颗粒性物质。尺寸大小应宽松合身，边缘应封缝，接缝应内封。洁净区工作不应有口袋、横褶、带子、颜色为白色或浅色。
连衣裤的洁净工作服
用整块布料裁剪，腰间用扁橡皮或者松紧带束紧，万级洁净室，领口、袖口、裤脚等缝间用不沾染尘埃的材料制作。帽子能将头全部覆盖，只露出双眼和鼻，耳有小孔。
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