六氟化硫检漏仪（SF6检漏仪）是指用含有卤素(氟、氯、溴、碘)气体作为示漏气体的检漏仪器。该类仪器分两类：其一为传感器(即探头)与被检件相连接的称为固定式(也称内探头式)检漏仪；其二为传感器(即吸枪)在被检件外部搜索的称为便携式(也称外探头式)检漏仪。示漏气体有氟里昂、氯仿、碘仿、四氯化碳等，常州六氟化硫，其中氯里昂属较好。灵敏度可达3.2×lO-9Pam3/s。
金属铂在800～900oC温度下会发生正离子发射，当遇到卤素气体时，这种发射会急剧增加。这就是所谓的“卤素效应”，六氟化硫特性，利用此效应制成了卤素检漏仪。
传感器是个二极管，六氟化硫，加热丝、阴极(外筒)、阳极(内筒)均用铂材制成。阳极被加热丝加热后发射正离子，被阴极接收的离子流由检流计(或放大器)指示出来，且有音响指示。电气部分由加热电源、直流电源、离子流放大器、输出显示及便携式的吸气装置电源等组成。
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