洁净室之分类
乱流式(Turbulent Flow)：空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室，苏州净化工程，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1，000-100，000级。 优点：构造简单、系统建造成本，洁净室之扩充比较容易，徐州净化工程，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。
净化工程洁净室的复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。
(1)洁净隧道：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上，无锡净化工程，可节省安装运转费用。 此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，净化工程，ULSI制程大都采用此种型式。 洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。 (2)洁净管道：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为最适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。
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