1、基于新原理的加工方法努力开发加工单位极小的精密加工方法，必须在加工机理的本身就使其误差分散在1nm以下的水平。目前加工单位比较小的加工方法主要有弹性破坏加工、化学加工、离子束加工、电子束加工、等离子体加工等。目前的金刚石切削和金刚石砂轮精密磨削从其加工机理上看，其加工单位就很大。
2、开发精密的机械机构不论是加工装置还是测量装置，三坐标测量仪图，都需要 精密的机械机构，包括导轨、进给机构及轴承等，三坐标测量仪，超精密空气静压导轨是目前好的导轨，其直线度可达(0.1~0.2)μm/250mm，通过补偿技术还可以进一步提高直线度，但是它没有液体静压导轨的刚性大。同时，三坐标测量仪进口，由于空气静压导轨的气膜厚度只有10μm左右，所以在使用过程中，要注意防尘。另外，在导轨的设计中，还可以用多根导轨并联来均化气膜的误差。用高弹性合金、红宝石制造的滚动导轨，昆山三坐标测量仪，系统误差在0.5μm左右，随机误差可能超过0.1μm。
三坐标测量机以其高精度高柔性以及优异的数字化能力，成为现代制造业尤其是模具工业设计、开发、加工制造和质量保证的重要手段。
三坐标测量机在模具行业中的应用相当广泛，它是一种设计开发、检测、统计分析的现代化的智能工具，更是模具产品无与伦比的质量技术保障的有效工具。当今主要使用的三坐标测量机有桥式测量机、龙门式测量机、水平臂式测量机和便携式测量机。
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