阻挡层材料一般采用高熔点、高电阻率的金属及其化合物，因此要求阻挡层厚度小于50n m，与铜及介质材料的附着性能良好。铜互连和铝互连的阻挡层 材料是不同的．需要研制新的靶材材料。铜互连的阻 挡层用靶材包括 T a 、W、T a S i 、WS i 等 ．但是T a 、W 都是难熔金属．制作相对困难，ITO靶材回收销售，如今正在研究钼、铬 等的台金作为替代材料。铟靶材厂家，铟靶材价格，铟靶材回收，ITO靶材回收，铟靶材哪家好
最初的生产方法就是真空热压法，使用这种方法生产靶材不仅花费的成本比较高，而且不能够提高工作的效率，对于企业来说不仅提高了投资的成本，ITO靶材回收体系，而且并没有让产品的质量得到改善。最近这些年，发明了一种常压烧结法来生产ITO靶材，主要通过预压的工作来实现对靶材的生产，而这种方法不仅能够让生产出的靶材密度比较均匀，而且降低了生产中的成本。ITO靶材回收厂家， ITO靶材回收价格， ITO靶材回收哪家好
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