苏州晶淼半导体(图),SC-1清洗机,清洗

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苏州晶淼半导体(图),SC-1清洗机,清洗

半导体硅(芯)片清洗机:      该设备主要用于清除硅(芯)片表面的废屑、金属离子等物质,是硅(芯)片生产过程中重要工序。设备主要技术特点:1.可靠的控制系统;2.触摸屏控制显示 ;3.可设置和存储工艺菜单;4.高压去离子水泵5.喷...


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半导体硅(芯)片清洗机

      该设备主要用于清除硅(芯)片表面的废屑、金属离子等物质,是硅(芯)片生产过程中重要工序。设备主要技术特点:1.可靠的控制系统;2.触摸屏控制显示 ;3.可设置和存储工艺菜单;4.高压去离子水泵5.喷头H轴Y轴调节6.在线电阻率检测水质;7.清洗后高纯氮气干燥模块;8.自动排水装置;9.对硅片定位框架的安全定位。


超声波清洗机的日常保护与保养

      1、维持清洗机的任务场合的通风、枯燥、干净,有利于装备的临时高效运转及优化任务环境条件;

  2、洗净液过于龌龊时应及时处理,活期清算清洗槽、贮液槽内污垢,维持洗净槽内及外观的干净,可进步洗净槽的耐用性;

  3、电气掌握箱及装备通风口远离水蒸汽、侵蚀性气体、粉尘,活期用收缩空气清算附着的灰尘;

  4、活期测试装备的绝缘性能,超声波清洗机关于易老化电气组件活期检讨,检讨接地线,确保装备良好接地此名目须由具备专业经历的电工进行,SC-1清洗机,;

  5、活期测试电源,确认契合装备的电源电压请求,避开在过高或过低的不稳固电源下临时任务;

  6、带有过滤安装的装备,活期改换过滤芯清洗机同时供给专业的滤芯超声波清洗机

  7、带有传动机构的,应按请求活期加注黄油、机油等光滑剂,活期改换加速机齿轮油,清洗,确保静止机件在良好光滑条件下任务;


     半导体清洗机湿式清洗制程中,主要应用项目包含晶圆清洗与湿式蚀刻两项。至于脏污的来源,RCA清洗机,不外乎设备本身材料产生、现场作业员或制程工程师人体自身与动作的影响、化学材料或制程药剂残留或不纯度的发生,以及制程反应产生物的结果,尤其是制程反应产生物一项,更成为制程污染主要来源。


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