SF6气体已有百年历史，它是法国两位化学家Moissan和Lebeau于1900年合成的人造惰性气体，连云港六氟化硫，1940年前后，美国军方将其用于曼哈顿计划（核军事）。
1947年提供商用。当前SF6气体主要用于电力工业中。
SF6气体用于4种类型的电气设备作为绝缘和/或灭弧；SF6断路器及GIS（在这里指六氟化硫封闭式组合电器，国际上称为“气体绝缘开关设备”（GasInsulatedSwitchgear)）、SF6负荷开关设备，SF6绝缘输电管线，SF6变压器及SF6绝缘变电站。从用气量讲，80％用于高中压电力设备。
充装一般采用40L的气瓶和20L以下的小容积气瓶。
环境影响
虽然六氟化硫本身对人体无毒、无害，六氟化硫气体，但它却是一种温室效应气体，其单分子的温室效应是二氧化碳的2.2万倍，是《京都议定书》中被禁止排放的6种温室气体之一。
根据IPCC提出的诸多温室气体的GWP（全球变暖潜能）指标，六氟化硫，六氟化硫的GWP值较大，六氟化硫误差，500年的GWP值为32400，且由于六氟化硫高度的化学稳定性，其在大气中存留时间可长达3200年。
当今世界六氟化硫的排放量极少，对温室效应的贡献相比于二氧化碳而言完全可以忽略；但出于长久的环保和安全考虑，如何合理、正确的回收净化六氟化硫气体，是必须解决的问题。
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