从过去到现在
传统方式安装一个洁净室地板系统，洁净室，是在一种叫做“开孔华夫板（open waffle slab）”的上面铺设。这种华夫板是混凝土矩阵结构，带有开孔，便于维修和空气流通。洁净室地板系统就组装在这个矩阵结构之上，支架设在华夫板的开孔之间，支撑洁净室地板系统。支架通常是2×2英尺，装配2×2英尺的地板或通路地板块。洁净室对气流的要求已经发生改变。因为制造空间采用了微环境，净化的空气过滤器数量减少了。由于产品是放在前开式标准片盒（FOUP）里或一个晶圆传送系统里，把材料传送到每个微环境中去，在那里进行加工处理。
洁净室维护管理内容
①人员管理，所谓洁净室的人员管理应包括：制定专职管理人员的职责、洁净室人员 的准人制度、人员培训教育规定、进入洁净室人员的“人净程序”管理和退出管理制度等。
②洁净服的管理，包括：清净服采购和制作（含材料选择）、洁净服使用管理、洁净服 的清洗规定等。
③物流管理，包括：进入洁净室的物斜准人制度，物料的清理和清扫规定“物净程序”管理、废弃物管理制度等。
③洁净室内设备及工器具管理，包括：设备及工器具的搬入管理，苏州洁净室，清扫和滑油规定，上海洁净室，设备及工器具的退出管理等。
⑤洁净室用净化空调系统及设备的维护管理．制定相应的操作规程、维修制度等，南京洁净室，包括净化空调系统和洁净室相关的公用动力系统的设备、管线等管理维护，如，空气过滤器、 空调机、局部净化设备、冷冻机及水泵、纯水设备、配电设备、安全报警设施等
⑥洁净室的清洁、清扫和灭菌管理，包括：清扫、清洁和灭菌规定，清扫和清洁设备 管理，清洗和灭菌设施管理等。
⑦洁净室安全管理，包括：安全报警方面的管理制度，洁净室安全管理制度。
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