、开发高精度的测试系统在目前的超精密加工领域中，对加工 精度的测量主要有两种方法;激光检测和光栅检测，而光栅的应用最为广泛。目前光栅的测量精度可达nm级，如北京光电仪研究中心的光栅系统可达0.1μm，俄罗斯的全息光栅系统达10nm，LG100光栅系统的分辨率可达0.1μm，测量范围为100mm。 开发系统误差小、精度高和可靠性高的检测仪器和控制装置的前提是开发高性能的传感器以及伺服从动机构。如果开发出高性能的传感器以及伺服机构及高精度、高速度、和高可靠性的读出装置，就可通过使用计算机进行检测、分析及计算，以提高检测精度。
超声波抛光是利用工具端面做超声振动，通过磨料悬浮液对硬脆材料进行光整加工，张家港尼康三坐标订购，加工精度0.01~0.02μm，表面粗糙度Ra0.1μm。超声抛光设备简单，操作、维修方便，工具可用较软的材料制作，张家港尼康三坐标，而且不需作复杂的运动，主要用来加工硬脆材料，如不导电的非金属材料，当加工导电的硬质金属材料时，生产率较低。
化学抛光是通过硝酸和磷酸等氧化剂，在一定的条件下，使被加工的金属表面氧化，使表面平整化和光泽化。化学抛光设备简单，可以加工各种形状的工件，效率较高，尼康三坐标，加工的表面粗糙度一般为Ra≤0.2μm，但腐蚀液对人体和设备有损伤，污染环境，需妥善处理。主要用来对不锈钢、铜、铝及其合金的光亮修饰加工。
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