超精密零件加工精度以纳米,数控零部件加工,甚至最后以原子单位(原子晶格距离为0.1~0.2纳米)为目标时,超精密零件切削加工方法已不能适应,必要借助特种精密零件加工的方法,五金零部件加工,即应用化学能、电化学能、热能或电能等,使这些能量超越原子间的联合能,从而去除工件外表的部分原子间的附着、联合或晶格变形,以达到超精密加工的目的。属于这类加工的有机械化学抛光、离子溅射和离子注入、电子束曝射、激光束加工、金属蒸镀和分子束外延等。
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