从过去到现在
传统方式安装一个洁净室地板系统，是在一种叫做“开孔华夫板（open waffle slab）”的上面铺设。这种华夫板是混凝土矩阵结构，带有开孔，洁净室除尘，便于维修和空气流通。洁净室地板系统就组装在这个矩阵结构之上，支架设在华夫板的开孔之间，支撑洁净室地板系统。支架通常是2×2英尺，洁净室，装配2×2英尺的地板或通路地板块。洁净室对气流的要求已经发生改变。因为制造空间采用了微环境，净化的空气过滤器数量减少了。由于产品是放在前开式标准片盒（FOUP）里或一个晶圆传送系统里，把材料传送到每个微环境中去，在那里进行加工处理。
室内生产环境对生产效率的影响体现在以下两方面：首先，良好的生产环境不仅可以保障生产人员的身心健康和出勤率，而且能够提高他们的工作情绪和积极性；其次，良好的生产环境可以保证生产的顺利进行，提高产品的成品率。室内生产环境是影响产品质量的重要因素之一。例如，感光胶片、集成电路、化学试剂、精密仪表和微型电机等产品，如果被粉尘污染，洁净室检测，就会降低质量甚至报废；在食品加工业中，微生物的存在会缩短保质期，降低产品质量。
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