温湿度
洁净室的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。由于加工精度越来越精细，无尘车间，所以对温度波动范围的要求越来越小。直径100 um的硅片，无尘车间隔板，温度上升1度，制药无尘车间，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，罐装无尘车间，对产品将有污染，特别 是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。
首先无尘室的墙体材质要选洁净性能好，不会吸附灰尘的材质，并且节能环保，外观看上去美观，造价实惠。施工方便吊顶一般选用50mm的夹心彩钢板，特点是施工周期短，后期维护起来比较方便。洁净室一些配套设备如工作台，洗手池，鞋凳、地漏等要选择不锈钢材质的，不容易产生灰尘。地面一般选用环氧自流平，特点是耐磨，使用时间长，如果一些行业无尘室内需要防静电的，可以选用防静电地板。
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